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玻璃基板
确认详细内容
| FX-103SH | FX-103S | |
| 分辨率 （可切換） | 2.2 μm (g + h + i-line) | 3.0 μm (g + h + i-line) |
| 投影倍率 | 1 : 1 | |
| 重合精度 | ≦ ± 0.5 μm | |
| 尺寸 | 2,940 mm x 3,370 mm | |
| 节拍 | 60 s / plate 条件: 2,940 mm x 3,370 mm, 4 scans, g + h + i-line, 30 mJ / cm2 |
|
确认详细内容
| 分辨率 | 1.5 μm (i-line) |
|---|---|
| 投影倍率 | 1 : 1 |
| 重合精度 | ≦ ± 0.40 μm |
| 尺寸 | 2,200 mm x 2,500 mm |
| 节拍 | 47 s / plate 条件 : 2,200 mm x 2,500 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2 |
确认详细内容
| 分辨率 | 1.0 μm (i-line)※ |
|---|---|
| 投影倍率 | 1 : 1 |
| 重合精度 | ≦ ± 0.23 μm |
| 尺寸 | 1,500 mm x 1,850 mm |
| 节拍 | 42 s / plate 条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2 |
※使用相移掩模时
确认详细内容
| FX-68SH | FX-68S | |
| 分辨率 | 1.2 μm (i-line)※ | 1.5 μm (i-line) |
| 投影倍率 | 1 : 1 | |
| 重合精度 | ≦ ± 0.27 μm | |
| 尺寸 | 1,500 mm x 1,850 mm | |
| 节拍 | 42 s / plate 条件 : 1,500 mm x 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ / cm2 |
|
※使用相移掩模时
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X射线/CT系统
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| 最大能量 | 225 kV / 320 kV |
|---|---|
| X射线源 最小焦点 | 1 μm / 3 μm |
| 最大CT扫描尺寸 | 280 mm / 300 mm |
| 探测器 最大像素矩阵 | 2880 x 2880 / 2048 x 2048 |
| 最大帧速率 | 30 fps |
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影像测量仪
确认详细内容
| 最大XYZ量程 | 650 x 550 x 200 mm |
|---|---|
| 最小读数 | 0.01 μm |
| 最大允许误差 | EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4 L / 1000 µm |
| 最大允许误差 | EUXY, MPE 2.0 + 4 L / 1000 µm |
| 最大允许误差 | EUZ, MPE 1.2 + 5 L / 1000 µm |
| 最大载重量 | 50 kg（精度保证: 30 kg） |
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