对应第8代玻璃基板的FPD曝光设备「FX-88S」发售

株式会社尼康（社长：Toshikazu Umatate，东京都港区）推出了支持各种高清晰度的面板的生产，对应第8代玻璃基板的FPD曝光设备「FX-88S」。 「FX-88S」除了有高分辨率和高精度对准外，还具有高生产性。广泛适用于高附加值的高端显示器的面板生产，如智能设备、高端显示器和大型电视，以满足客户的不同需求。

发售概况

商品名	FPD曝光设备 「FX-88S」
发售时间	2022年4月上旬

开发背景

随着可折叠智能手机出现和高清显示器的需求增长，用于智能设备和高端显示器的中小型面板对更大屏幕和更高分辨率的需求变得愈加强烈。此外，用于电视显示屏等的大屏的分辨率也有更高的需求。为了满足这些需求，尼康应用并优化了适合生产高清中小型面板的FX-68SH/68S FPD曝光系统（2016年推出）和适合生产大型电视面板FX-103SH/103S FPD曝光系统（2017年推出）开发的技术。推出满足多种高清晰度面板生产的FPD曝光设备 「FX-88S」。

主要特长

1. 实现了1.5微米级的高分辨率

通过搭载在 FX-68SH/68S 机型上已实现量产实绩的高解像度i 线投影镜头。实现了第8代玻璃基板的1.5 µm（L/S）高分辨率曝光。同时采用与“FX-68SH/68S”相同的高精度对焦补正系统，实现了在整个第8 代玻璃基板面板上优秀的线宽均一性。

※L/S：Line and Space的简称

2. 高重合精度的实现

通过使用在FX-103SH/103S中用于10.5代玻璃基板的大型平台控制技术和FX-68SH/68S的高分辨率投影镜头的配置，FX-88S实现了高精度的对位。此外，尼康独特的多镜头技术能对基板的表面进行局部补正，使其能够对应大型面板的各种变形形状，助力于实现高良率的量产。

3. 高生产性

多镜头系统能够以高分辨率对大面积区域进行批量曝光。仅通过4 次扫描，就可以对第 8 代玻璃基板进行整个面进行曝光。与原有的FX-86SH2机型相比，平台的驱动速度提高了 30%，生产节拍时间大幅度提升。 最大可以选择搭载四个光源，助力于在需要高照度的曝光工序中也实现高生产性。

4. 可灵活地应对各种面板的量产

高分辨率和高精确度的大面积曝光，是智能设备、高端显示器和大型电视等高附加值高端屏幕量产的最佳选。FX-88S致力于满足客户的各种需求。

主要性能

Resolution (L/S)	分辨率（可切换）	1.5 μm　（i-line）
Projection magnification	投影倍率	1:1
Overlay	重合精度	≦±0.40 μm
Plate size	尺寸	2,200 mmｘ2,500 mm
Takt time	节拍	47秒/plate 条件：2,200 mmｘ2,500 mm，4 scans、i-line、30 mJ/cm2